特許
J-GLOBAL ID:200903096633960588

エポキシ系塗料およびその塗料を塗布したクリ-ンル-ム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山口 朔生 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-085845
公開番号(公開出願番号):特開平9-249849
出願日: 1996年03月14日
公開日(公表日): 1997年09月22日
要約:
【要約】【課題】 本発明の課題は、従来のエポキシ系塗料がクリ-ンル-ムの空気に揮散し易い有機および無機成分を含むのに対して、クリ-ンル-ムへ揮散する有機および無機成分を著しく低減することによって、従来技術で問題になっている化学成分による汚染を防止できるエポキシ系塗料と、その塗料を塗布して構成したクリ-ンル-ムを提供することである。【解決手段】 上記課題を解決する手段として、所定のエポキシ樹脂の分析方法により、塗布硬化後28日を経た100cm2 のエポキシ樹脂試料から6′′のシリコンウエハ-に吸着する有機物量が1000ng以下であり、かつ、各金属元素およびイオンの個別の発生量が100ppm 以下であるようなエポキシ樹脂主剤およびエポキシ硬化剤で構成された、エポキシ系塗料を提供する。また、上記のエポキシ系塗料を、壁、床、柱、梁等の構成部位に塗布して構成したことを特徴とする、クリ-ンル-ムを提供する。
請求項(抜粋):
所定のエポキシ樹脂の分析方法により、塗布硬化後28日を経た100cm2 のエポキシ樹脂試料から6′′のシリコンウエハ-に吸着する有機物量が1000ng以下であり、かつ、各金属元素およびイオンの個別の発生量が100ppm 以下であるようなエポキシ樹脂主剤およびエポキシ硬化剤で構成された、エポキシ系塗料。
IPC (4件):
C09D163/00 PJX ,  C09D163/00 PJQ ,  C09D 5/00 PPM ,  H01L 21/02
FI (4件):
C09D163/00 PJX ,  C09D163/00 PJQ ,  C09D 5/00 PPM ,  H01L 21/02 D
引用特許:
審査官引用 (9件)
全件表示

前のページに戻る