特許
J-GLOBAL ID：200903096634902948
ガラス基板用欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312866
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138045
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板Gの表面及び裏面に存在する塵などの微粒子を正確に検出する。【構成】 第1の光源からガラス基板Gの表面に検出光L1を照射し、基板Gの表裏面に存在する微粒子D1,D2による散乱光L2を、基板Gの表面側において基板Gの全反射の臨界角θc近傍以内の範囲に配置された第1の検出用光学系14により検出して微粒子D1,D2を欠陥として検出する。
請求項（抜粋）：
第1の光源からガラス基板の表面に検出光を照射し、前記基板の表裏面に存在する微粒子による散乱光を、前記基板の表面側において前記基板の全反射の臨界角近傍以内の範囲に配置された第1の検出用光学系により検出して前記微粒子を欠陥として検出することを特徴とするガラス基板用欠陥検査装置。
IPC (2件)：
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