特許
J-GLOBAL ID：200903096635551090
チタン酸化物の成膜方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-169168
公開番号（公開出願番号）：特開平11-012720
出願日： 1997年06月25日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：
【要約】【課題】大面積に均一に、高速に成膜が可能な酸化チタンの成膜方法の提供。【解決手段】TiOx ターゲット(12 以上とするチタン酸化物の成膜方法。
請求項（抜粋）：
TiOx ターゲット(12 以上とすることを特徴とするチタン酸化物の成膜方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/08 E
, C23C 14/34 N
