特許
J-GLOBAL ID：200903096635901503
ノズルプレートの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-149740
公開番号（公開出願番号）：特開2006-326873
出願日： 2005年05月23日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：
【課題】液滴吐出側の表面に撥液膜が形成されたノズルプレートを、レジストを用いることなく、簡易な製造工程で製造する。【解決手段】ノズル形成基板62にノズル孔より大きな径で両面を貫通する孔部を形成する孔部形成工程と、前記孔部形成工程で形成された前記孔部の内壁面に親液膜66を形成するとともに前記孔部の少なくとも一部を塞ぐように親液膜を形成する親液膜形成工程と、前記親液膜形成工程が行われた後に前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に撥液膜68を形成する撥液膜形成工程と、前記撥液膜形成工程が行われた後に前記孔部の前記撥液膜で塞がれた部分に前記ノズル孔を形成するノズル孔形成工程とを含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するためのノズル孔を有するノズルプレートの製造方法であって、
ノズル形成基板に前記ノズル孔より大きな径で両面を貫通する孔部を形成する孔部形成工程と、
前記孔部形成工程で形成された前記孔部の内壁面に親液膜を形成するとともに、前記孔部の少なくとも一部を塞ぐように親液膜を形成する親液膜形成工程と、
前記親液膜形成工程が行われた後に、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に撥液膜を形成する撥液膜形成工程と、
前記撥液膜形成工程が行われた後に、前記孔部の前記撥液膜で塞がれた部分に前記ノズル孔を形成するノズル孔形成工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2C057AF93
, 2C057AG07
, 2C057AP13
, 2C057AP22
, 2C057AP59
, 2C057AP60
, 2C057BA03
, 2C057BA14
