特許

J-GLOBAL ID：200903096637025190

ガス切替えシステム

発明者： 蜂谷 透 ,  斎藤 牧
出願人/特許権者： 富士フイルムマイクロデバイス株式会社 ,  富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-228852
公開番号（公開出願番号）：特開平10-074743
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】 ガスに応じて異なる配管へガスを流すガス切替えシステムに関し、安全にガスを流すことができるガス切替えシステムを提供することを目的とする。【解決手段】 外部からガスを供給可能なチャンバ(1)と、チャンバ内のガスを排気するためのポンプ(3)と、ポンプにより排気されるガスを流すための第1および第2の排気配管(11B,11A)と、第1および第2の排気配管をそれぞれ開閉するための第1および第2のバルブ(5B,5A)と、第1の排気配管において第1のバルブの位置より下流側に配設され、該第1の排気配管内に不活性ガスを供給するための第1の不活性ガス導入管(22B)と、第1の不活性ガス導入管を開閉するための第3のバルブ(21B)と、第1、第2および第3のバルブの開閉を制御するためのバルブ制御手段(6)とを有する。

請求項（抜粋）：

外部からガスを供給可能なチャンバと、前記チャンバ内のガスを排気するためのポンプと、前記ポンプにより排気されるガスを流すための第1および第2の排気配管と、前記第1および第2の排気配管をそれぞれ開閉するための第1および第2のバルブと、前記第1の排気配管において前記第1のバルブの位置より下流側に配設され、該第1の排気配管内に不活性ガスを供給するための第1の不活性ガス導入管と、前記第1の不活性ガス導入管を開閉するための第3のバルブと、前記第1、第2および第3のバルブの開閉を制御するためのバルブ制御手段とを有するガス切替えシステム。

IPC (4件)：

H01L 21/31 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  C23C 16/44

FI (4件)：

H01L 21/31 B ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/44 D ,  H01L 21/302 B