特許
J-GLOBAL ID：200903096638299618
電波透過型熱線遮蔽ガラス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-282201
公開番号（公開出願番号）：特開平8-143336
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：
【要約】【目的】耐摩耗性、耐食性並びに耐久性に優れ、電波透過性能が良好な通常のフロ-トガラス並の電波低反射率で各種電波を透過し、熱線遮蔽性能で冷暖房効果を向上し、単板ガラスとして使用でき、車輌用各種窓材に採用できるものを得る。【構成】透明な着色ガラス基板表面に、ガラス面側から第1層ならびに第3層として膜厚が15nm以下3nm以上の酸化タンタル薄膜、第2層として膜厚が4nm以上10nm以下のチタン窒素酸化物薄膜を少なくとも積層成膜してなり、しかも該チタン窒素酸化物薄膜が、N2ガスとO2ガスの比が98:2ないしは92:8の範囲、または該混合ガスにさらにArガスを加えて該混合ガス:Arガスの比が1:0ないしは1:1の範囲の雰囲気ガスにある真空系装置内でTiターゲットに印加しスパッタすることで xとy の値を選択決定して成るTiNxOyである電波透過型熱線遮蔽ガラス。
請求項（抜粋）：
透明な着色ガラス基板表面に、ガラス面側から第1層ならびに第3層として膜厚が15nm以下3nm以上の酸化タンタル薄膜、第2層として膜厚が4nm以上10nm以下のチタン窒素酸化物薄膜を少なくとも積層成膜してなり、しかも該チタン窒素酸化物薄膜が、N2ガスとO2ガスの比が98:2ないしは92:8の範囲、または該混合ガスにさらにArガスを加えて該混合ガス:Arガスの比が1:0ないしは1:1の範囲の雰囲気ガスにある真空系装置内でTiターゲットに印加しスパッタすることで xとy の値を選択決定して成るTiNxOyであることを特徴とする電波透過型熱線遮蔽ガラス。
IPC (3件)：
C03C 17/34
, B60J 1/00
, C03C 4/02
