特許

J-GLOBAL ID：200903096642012803

微小開口を有するプローブ、及び該プローブを有する情報処理装置

発明者： 教學 正文 ,  島田 康弘
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-249109
公開番号（公開出願番号）：特開2000-067462
出願日： 1998年08月19日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】本発明は、分解能を低下させることなく広い信号検出領域をとることが可能な微小開口を有するプローブ、及び該プローブを有する情報処理装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、プローブの探針が4つの平面あるいは曲面で構成された側面からなる四角錘或いは四角錘に類似の構造を有し、該探針の先端部に複数の微小開口を有するプローブを構成したことを特徴とするものであり、該プローブによって情報処理装置を構成したことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

プローブの探針が4つの平面あるいは曲面で構成された側面からなる四角錘或いは四角錘に類似の構造を有し、該探針の先端部に複数の微小開口を有することを特徴とするプローブ。

IPC (6件)：

G11B 7/135 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/14 ,  G11B 9/00 ,  G11B 11/00

FI (6件)：

G11B 7/135 Z ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 37/00 E ,  G11B 9/00 ,  G11B 11/00

Fターム (26件)：

2F063AA43 ,  2F063DB01 ,  2F063DB05 ,  2F063EA16 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063JA04 ,  2F069AA60 ,  2F069BB40 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH02 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ07 ,  5D119AA11 ,  5D119AA22 ,  5D119BA01 ,  5D119CA20 ,  5D119EB02 ,  5D119EB13 ,  5D119JA06 ,  5D119JA64 ,  5D119KA07 ,  5D119MA05