特許

J-GLOBAL ID：200903096652034112

異物検査装置

発明者： 早野 史倫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-177390
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012744
出願日： 1993年06月24日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】 ペリクル表面の平面度を測定する手段を設けて、表面のへこみやふくらみが許容範囲を超えるペリクルの異物検査を回避することのできるような異物検査装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、レチクルにフレームを介して装着されたペリクルの表面上に付着した異物を検査する異物検査装置において、ペリクル表面の平面度を測定するための平面度測定手段を備えていることを特徴とする。平面度測定手段は、共焦点型の光学系と、ペリクル表面と光学的に共役な位置に設けられた遮光手段10と、該遮光手段10を通過した光を受光するための受光手段11とを備え、ペリクル表面100からの戻り光の光量に基づいてペリクル表面の平面度を測定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

レチクルにフレームを介して装着されたペリクルの表面上に付着した異物を検査する異物検査装置において、ペリクル表面の平面度を測定するための平面度測定手段を備えていることを特徴とする装置。