特許

J-GLOBAL ID：200903096653132606

真空容器、およびゲッタ部材

発明者： 廣田 耕治 ,  濱嶋 茂樹 ,  土田 浩幸 ,  上田 敏之 ,  渡邊 芳夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-050341
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248529
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】 赤外線検知素子を搭載する真空容器に関し、真空空間内の異物の散乱を防止することを目的とする。【解決手段】 絶縁膜46の破片よりも小さいメッシュを有する保護部材44によってゲッタ本体41を覆うことにより、絶縁膜46の破片が真空空間内を散乱することが防止される。また、保護部材44を取り付けた状態で取り付け部材によってゲッタ部材40をケースの内側に取り付けるので、取り付け部材とゲッタ部材40との摩擦もなくなり、ゲッタ部材40が削れて異物が発生することもない。

請求項（抜粋）：

赤外線検知素子を搭載する真空容器において、ゲッタ本体内に絶縁膜を介してヒータ線が収納され、前記絶縁膜の破片よりも小さいメッシュを有する保護部材によって前記ゲッタ本体が覆われるゲッタ部材を、取り付け部材を介してケースの内側に取り付け、固定したことを特徴とする真空容器。

IPC (3件)：

G01J 1/02 ,  B01J 3/00 ,  G01J 5/02

FI (3件)：

G01J 1/02 C ,  B01J 3/00 K ,  G01J 5/02 F