特許
J-GLOBAL ID：200903096655243588
ターボ真空ポンプ及びその運転方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-229711
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073088
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】反応生成物がターボ真空ポンプの内部に付着堆積して、ポンプ運転停止後に発生するロータロック時にも、再起動を可能にする。【解決手段】ターボ真空ポンプ1の起動前に、磁気軸受3をコントローラ20により制御し、磁気軸受3の吸引力でロータを変位させることにより、反応生成物をかき落とす。さらに、ターボ真空ポンプ1の起動前に、ステータを加熱する加熱手段を設ける。【効果】ポンプ停止中の反応生成物の付着堆積によるロータロックが生じても、ポンプの再起動が可能になり、完全に清浄でメンテナンスフリーの磁気軸受の利点を生かせる。
請求項（抜粋）：
吸気口と排気口を有するハウジングと、このハウジング内に保持されたステータと、前記ハウジングに取り付けられた磁気軸受と、この磁気軸受により回転自在に支持された回転軸と、この回転軸を駆動する駆動手段と、前記磁気軸受を制御する制御手段を備え、前記吸気口から吸込んだ気体を圧縮し前記排気口より大気雰囲気に排気するターボ真空ポンプにおいて、前記回転軸の回転速度を検出する第1の検出手段と、前記駆動手段の電流と電力の少なくともいずれかを検出する第2の検出手段とを設け、前記第1の検出手段が回転軸の静止を検出したときに前記第2の検出手段の検出値が所定値を越えたら、前記回転軸を所定量だけ変位させる指令を前記磁気軸受に与える指令手段を前記制御手段に設けたことを特徴とするターボ真空ポンプ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F04D 19/04 A
, F04D 19/04 H
, F04D 27/00 G
