特許
J-GLOBAL ID：200903096656192235
光学式変位計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-097511
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307858
出願日： 1993年04月23日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】従来の光学式変位計に比べて、安価で且つ小型化を可能とする信頼性の高い手段を提供する。【構成】半導体レーザ光源1a、1bからの波長を異にする放射光束をダイコロイックミラー4を介して合成し、第一の集光手段5、集光点の位置に配置された微小開口手段6、色収差未補正の第二の集光手段7により、物体表面8の異なる位置に集光させ、この反射光の出力を二つの受光素子9a、9bで検出演算し、物体の変位量を求めることができる。
請求項（抜粋）：
波長を異にする二つの放射光束を物体表面に向かわせる光路には、各光束を一点に集光する第一の集光手段、該集光点の位置に配置された微小開口手段、該微小開口手段を通過した各光束を物体表面上に集光する第二の集光手段を配置し、該物体表面上で反射し、微小開口手段を通過した異なる二つの波長の光束を分割する分割手段と、その背後に、夫々の波長の光に対応する二つの受光素子とに導き、該二つの受光素子の出力に基づいて物体の変位量を演算する演算手段とを備え、前記第一、第二の集光手段のうち、少なくとも一方に色収差を有するレンズを用いることを特徴とする光学式変位計。
IPC (3件)：
G01C 3/06
, G01B 11/00
, G01B 11/24
