特許
J-GLOBAL ID：200903096656966303
力制御装置を有する研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曽々木 太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-209834
公開番号（公開出願番号）：特開平5-031666
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 研磨開始位置及び研磨終了位置近傍に過剰研磨が発生しない研磨装置を提供する。【構成】 研磨領域以外では押圧力を所定押圧力より小さい初期押圧力とし、研磨領域内では所定押圧力に研磨部材保持装置1の押圧力を制御する研磨部制御装置2を有する研磨装置である。
請求項（抜粋）：
力制御手段と研磨位置制御手段とからなる研磨部制御手段を有する研磨部材保持手段と、移送位置制御手段を有する移送手段とからなる研磨装置であって、前記移送位置制御手段からの位置信号に基づき、前記研磨部材保持手段が研磨領域にある間は前記力制御手段のみが起動され、研磨領域以外においては前記研磨位置制御手段のみが起動されることを特徴とする研磨装置。
IPC (4件)：
B24B 47/20
, B24B 1/00
, B24B 49/16
, B24B 19/14
