特許
J-GLOBAL ID：200903096664129844
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-260925
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074676
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】 第1の振動子の周波数と、第2の振動子の周波数とを調整することにより、音叉振動時の振幅を大きくして角速度の検出感度を高める。【解決手段】 基板2上には、支持部4、第1の支持梁7、第1の振動子8、第2の支持梁9、第2の振動子10からなる音叉振動部3を設け、振動子8,10には周波数調整部31,32を設ける。周波数調整部31,32には外部からバイアス電圧を印加することにより、振動子8,10にY軸方向の静電引力を発生する。これにより、支持梁7,9のばね定数を高め、共振周波数を高くする。そして、バイアス電圧を調整することにより、各共振周波数を近づけ、振動子8,10を大きな振幅で振動させることができる。
請求項（抜粋）：
少なくとも一つの組からなる第1,第2の振動子と、該第1,第2の振動子を第1の軸方向に音叉振動させる振動発生手段と、該振動発生手段により前記第1,第2の振動子を第1の軸方向に音叉振動させた状態でこの第1の軸と直交する第2の軸回りに角速度が作用したとき、第1,第2の振動子とが第1,第2の軸に直交する第3の軸方向に変位するときの変位を検出する変位検出手段とを備えてなる角速度センサにおいて、前記第1の振動子の周波数と第2の振動子の周波数とが同調するように調整する周波数調整手段を設けたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2F105BB02
, 2F105BB03
, 2F105BB15
, 2F105CC01
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
, 2F105CD20
