鏡面上の異物検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-329146
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190942
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】大型ガラス基板のゴミ検査を高速・高感度で行う。【構成】ガラス基板11を一軸送りする検査ステージ1と、レーザ光をガラス基板に斜めに入射させて検査ステージ1の送り方向と直交する方向に走査するレーザ投光手段2と、レーザ光のガラス基板11からの正反射光を受光せず乱反射光を受光する受光素子9と、受光素子9の光電変換出力信号を投光手段2の走査周期に同期し各走査毎に一定サンプリング時間で読み込む信号処理回路10とを有し、レーザ光ビームは斜めに入射されガラス基板上で楕円形状となり、複数の走査ライン上で同一異物による乱反射光を受光できるため、信号処理回路10は、複走査分の同一走査位置におけるデータを加算して出力する。【効果】レーザを一方向に光学走査することで検査の高速化が行える。隣接する複数走査位置での検出信号を加算し、高感度となる。

請求項（抜粋）：

被検査物を一軸方向に送る検査ステージと、前記被検査物の被検査面に対しレーザ光を前記検査ステージの送り方向と直交する方向に一定周期で走査するレーザ投光手段と、前記レーザ投光手段によるレーザ光のガラス基板からの正反射方向近傍の正反射光が直接入らない位置に前記レーザ投光手段に対向して置かれ前記被検査面からの乱反射光を受光素子に受光させる受光手段と、前記受光素子の光電変換出力信号を前記投光手段の走査周期に同期し各走査毎に一定サンプリング時間で読み込み順次シフトさせながら格納するメモリと、前記メモリで格納された隣接する複走査分の同一走査位置におけるデータを加算する加算器とを含むことを特徴とする鏡面上の異物検査装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-291550
ガラス板の異物検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-353230 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
特開昭62-011151

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