特許

J-GLOBAL ID：200903096671510537

照明装置、走査型露光装置及びこの走査型露光装置を用いたデバイスの製造方法

発明者： 小澤 邦貴 ,  坂本 英治 ,  深川 容三 ,  高橋 和弘
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-333305
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236438
出願日： 1995年12月21日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【課題】 照明むらを小さくする。【解決手段】 パルス光の照明領域の走査方向の端部である第1の点(P1またはP8)から、光強度の増加の仕方が変わる第2の点(P2またはP7)までの幅(WaまたはWd)と、光強度の増加の仕方が変わる第3の点(P3またはP6)から、光強度が最高である第4の点(P4またはP5)までの幅(WbまたはWc)のうち、少なくとも一方は、照明領域に対する1パルス毎の被照明物体の相対的な移動量とほぼ等しいか、それ以上となるように設定する。

請求項（抜粋）：

パルス光の照明領域に対して被照明物体を相対的に走査させる走査手段を有する照明装置において、前記照明領域の走査方向の光強度分布は、少なくとも一方の端部から光強度が最高である点まで非線形に変化し、前記端部である第1の点から、光強度の増加の仕方が変わる第2の点までの幅Waと、光強度の増加の仕方が変わる第3の点から、光強度が最高である第4の点までの幅Wbのうち、少なくとも一方は、前記照明領域に対する1パルス毎の前記被照明物体の相対的な移動量とほぼ等しい、若しくは前記相対的な移動量以上であることを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (6件)：

H01L 21/30 527 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 514 C ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 518