検査装置、検査方法及び実装装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-201268
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026591
出願日： 1996年07月10日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】表面実装型電子部品の突起電極の欠損検査を信頼性高く行い得る検査装置、検査方法及び実装装置を実現し難かつた。【解決手段】表面実装型電子部品の突起電極を撮影する撮影手段と、撮影手段の光軸に対して斜め方向から突起電極に照明光を照射する照明手段と、撮影手段の出力に基づく画像上での照明光の突起電極における反射位置に基づいて、当該突起電極の有無を判断する判断手段とを設けるようにしたことにより、表面実装型電子部品の突起電極の欠損検査を信頼性高く行い得る検査装置及び実装装置を実現できる。また表面実装型電子部品の突起電極を撮影しながら、斜め方向から突起電極に照明光を照射し、かくして得られた画像上の照明光の突起電極における反射位置に基づいて、当該突起電極の有無を判断するようにしたことにより、表面実装型電子部品の突起電極の欠損検査を信頼性高く行い得る検査方法を実現できる。

請求項（抜粋）：

一面側に外部接続用の突起電極が設けられた表面実装型電子部品の上記突起電極の欠損を検査する検査装置において、上記表面実装型電子部品を所定状態に固定保持する保持手段と、上記保持手段により固定保持された上記表面実装型電子部品の上記突起電極を所定方向から撮影する撮影手段と、上記保持手段により固定保持された上記表面実装型電子部品の上記突起電極に対し、上記撮影手段の光軸に対して斜め方向から照明光を照射する照明手段と、上記撮影手段の出力に基づき得られる画像上での上記照明光の上記突起電極における反射位置に基づいて、当該突起電極の有無を判断する判断手段とを具えることを特徴とする検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 , G01N 21/84 , G06T 7/00 , G06T 1/00 , H05K 3/34 512

FI (5件)：

G01N 21/88 F , G01N 21/84 E , H05K 3/34 512 B , G06F 15/62 405 A , G06F 15/64 320 F

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