マイクロ波集積回路ウエハ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177246
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021174
出願日： 1992年07月03日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】プローブチップのわずかな改良によって、ウエハテストを効率よく実施できる。【構成】ウエハー11上には多数のマイクロは集積回路12がダイシングライン14をあけてマトリクス状に並設されている。各マイクロ波集積回路12には、4つの接地電極パターンGと、入力電極パターンIと出力電極パターンOと高周波電源用電極パターンV1およびV2とがそれぞれ設けられており、ダイシングライン14上に、入力電極パターンIを挟んだ一対の接地電極パターンG同士を接続するパッド14が設けられている。

請求項（抜粋）：

複数の電極パターンをそれぞれ有する多数のマイクロ波集積回路がダイシングラインをあけてそれぞれ並設されたマイクロ波集積回路ウエハであって、隣接するマイクロ波集積回路間のダイシングライン上に、隣接するそれぞれのマイクロ波集積回路における対をなす電極パターン同士を電気的に接続するパッドが設けられているとともに、隣接するマイクロ波集積回路における対応する電極パターンが該ダイシングラインを挟んで対向していることを特徴とするマイクロ波集積回路ウエハ。

IPC (4件)：

H01L 21/66 , G01R 31/26 , G01R 31/28 , H01L 27/04

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