特許
J-GLOBAL ID：200903096677601330
走査型プローブ顕微鏡装置の測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-114569
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323844
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 測定個所の繰り返し測定を正確に行うことができる走査型プローブ顕微鏡装置の測定方法を提供すること。【構成】 測定対象個所を繰り返し測定する場合、最初の測定時、試料に付された対向位置にある2つのマーク間の直線距離X0 、試料に付された他のマークから前記直線に下ろされた垂線距離Y0 を測定し、入力された測定個所の座標値x0 、y0 に基づいてXYステージ2を移動させ、測定対象個所の測定を行う。試料が熱膨張している状態にある2回目以降の測定では、直線距離(X1 )および垂線距離(Y1 )を測定し、制御部21は(X1 /X0 )、(Y1 /Y0 )を演算し、これらを座標値x0 、y0 に乗算して補正座標値(x1 =x0 ・X1 /X0、y1 =y0 ・Y1 /Y0 )を演算し、この補正座標値に応じてXYステージ2を移動させ、測定対象個所の測定を行う。
請求項（抜粋）：
試料をX軸およびY軸方向に移動させるXYステージと、前記試料と対向する探針と、この探針をX軸、Y軸およびZ軸方向に移動させる微動機構と、この微動機構のZ軸方向の移動に基づいて前記試料表面の情報を得る計測部とを備えた走査型プローブ顕微鏡装置において、前記試料に付された対向位置にある2つのマーク間の直線と前記試料に付された他のマークから前記直線に下ろされた垂線との交点を原点とする測定対象位置の座標値が入力されたとき、この座標値の入力が最初の入力である場合、前記直線および前記垂線の距離を測定してそれらの測定値を記憶するとともに、当該座標値に基づき前記XYステージの移動指令を出力して前記測定対象位置の測定を行い、入力された座標値が最初の入力でない場合、前記直線と前記垂線の距離を測定し、それら測定値とさきに記憶した測定値との比を座標値に乗じて補正座標値を求め、この補正座標値に基づき前記XYステージの移動指令値を出力して前記測定対象位置の測定を行うことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡装置の測定方法。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
