特許
J-GLOBAL ID：200903096684707461
光走査光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-093551
公開番号（公開出願番号）：特開平8-286217
出願日： 1995年04月19日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】特別な光学系を使用することなく、被検査物体での周辺光量の低下の発生を防止すること。【構成】被検査物体の光学的特性を測定するのに用いられる光走査光学系において、レ-ザ光を出力するレ-ザ光源と、高周波の印加により発生する超音波の作用によって、レ-ザ光源からのレ-ザ光を偏向して射出する音響光学偏向器と、音響光学偏向器からの射出光を被検査物体の表面に集光する集光光学系と、被検査物体からの反射光あるいは透過光を受光する受光光学系と、受光光学系により受光された光の強度を電気信号に変換して出力する受光素子と、受光光学系を通過した光束の端縁部における光量の低下に応じて、音響光学偏向器からの射出光の強度および方向を制御する制御手段とを備えて成る。
請求項（抜粋）：
被検査物体の光学的特性を測定するのに用いられる光走査光学系において、レ-ザ光を出力するレ-ザ光源と、高周波の印加により発生する超音波の作用によって、前記レ-ザ光源からのレ-ザ光を偏向して射出する音響光学偏向器と、前記音響光学偏向器からの射出光を前記被検査物体の表面に集光する集光光学系と、前記被検査物体からの反射光あるいは透過光を受光する受光光学系と、前記受光光学系により受光された光の強度を電気信号に変換して出力する受光素子と、前記受光光学系を通過した光束の端縁部における光量の低下に応じて、前記音響光学偏向器からの射出光の強度および方向を制御する制御手段と、を備えて成ることを特徴とする光走査光学系。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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