特許
J-GLOBAL ID：200903096686694022
硬質炭素膜被覆部材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-029491
公開番号（公開出願番号）：特開平6-240451
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：
【要約】【目的】 硬質炭素膜被覆部材における硬質炭素膜の硬度、密着性を向上し、寿命が長く良好な切削性を有する切削工具等を製造する。【構成】 電子サイクロトロン共鳴プラズマでターゲットをスパッタリングすることにより基材表面に中間層として窒化アルミニウム層、窒化ケイ素層、または炭化ケイ素層のいずれかを形成した後、連続して、電子サイクロトロン共鳴プラズマCVD、またはスパッタリングにより硬質炭素膜を形成し、硬質炭素膜の硬度、密着性を向上させる。
請求項（抜粋）：
基材表面に窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素のいずれかから成る中間層と硬質炭素膜を形成した硬質炭素膜被覆部材の製造方法において、真空排気装置を備えた真空容器内に基材を設置し、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、炭化ケイ素のいずれかから成るターゲットを電子サイクロトロン共鳴プラズマでスパッタリングすることにより基材表面に中間層を形成した後、基材を真空容器から大気中に取り出すことなく、続けて硬質炭素膜を形成することを特徴とする硬質炭素膜被覆部材の製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, C23C 14/06
, C23C 28/04
