特許

J-GLOBAL ID：200903096687643839

非接触式検査装置

発明者： 加藤 平三郎
出願人/特許権者： 株式会社三共製作所 ,  エーザイ株式会社
代理人 (1件)： 一色 健輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-113785
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142113
出願日： 1997年05月01日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 非接触式検査機器の検査能力を十分に発揮させることができるとともに、これら検査機器の配置レイアウトもより自由に設定することができて、当該検査機器による被検査体の検査を高精度にかつ広範に実施することができる非接触式検査装置を提供する。【解決手段】 被検査体18を搬送する環状の回転テーブル12と、回転テーブル12を挟んでその内外に配置され、CCDカメラ32などの非接触式検査機器を備える検査機器取付テーブル14と、回転テーブル12上方に、回転テーブル12の回転中心周りに回転可能に支持され、被検査体18の上部を保持するロータリーヘッド80と、ロータリーヘッド80と回転テーブル12とを同期回転させる連動機構92とを備え、ロータリーヘッド80は昇降自在とした。

請求項（抜粋）：

回転駆動されて被検査体を搬送する環状の回転テーブルと、該回転テーブルを挟んでその内側と外側とに配置され、上記被検査体を検査するための非接触式検査機器が取り付けられた検査機器取付テーブルと、上記回転テーブル上方に、該回転テーブルの回転中心周りに回転可能に支持され、該回転テーブルで搬送される上記被検査体の上部を保持するロータリーヘッドと、該ロータリーヘッドを上記回転テーブルと同期させて回転させる連動機構とを備えたことを特徴とする非接触式検査装置。

IPC (4件)：

G01N 1/00 101 ,  B65B 57/00 ,  G01N 21/90 ,  G01N 23/04

FI (4件)：

G01N 1/00 101 ,  B65B 57/00 A ,  G01N 21/90 B ,  G01N 23/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-203259
  
• 特開昭54-025891
  
• 特開昭57-142252
  
• 特開昭49-075198