特許

J-GLOBAL ID：200903096695367662

欠陥検査装置における蛇行追従方式

発明者： 小川 智広 ,  石田 雅春 ,  椿原 章弘
出願人/特許権者： 東芝エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-280978
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145908
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】 蛇行が発生した場合にも検査ウィンドウ幅を狭めることなく、正確な検査を可能とする。【構成】 シート状の被検査物を撮像して得られた画素毎の濃度情報を複数の撮像ライン単位で加算して濃度加算値を求める濃度積算回路3と、求められた濃度加算値から前記被検査物のエッジ位置を検出するエッジ検出回路5と、検出されたエッジ位置と予め蛇行のない状態で検出された基準エッジ位置とのずれ量を求めるずれ量演算手段(CPU12)と、求められたずれ量に基づいて検査ウィンドウの位置を補正するウィンドウ補正手段(セクタ加算回路9)とを具備する。

請求項（抜粋）：

シート状の被検査物を撮像して得られた画素毎の濃度情報をデジタル画像データに変換して取り込む画像データ入力部と、入力された画像データにおける各画素の濃度情報を複数の撮像ライン単位で加算して濃度加算値を求める濃度積算手段と、求められた濃度加算値から前記被検査物のエッジ位置を検出するエッジ検出手段と、検出されたエッジ位置と予め蛇行のない状態で検出された基準エッジ位置とのずれ量を求めるずれ量演算手段と、求められたずれ量に基づいて検査ウィンドウの位置を補正するウィンドウ補正手段と、を具備することを特徴とする欠陥検出装置における蛇行追従方式。

IPC (2件)：

G01N 21/89 ,  G06T 7/00