特許
J-GLOBAL ID:200903096701090686

固体撮像素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松隈 秀盛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-097834
公開番号(公開出願番号):特開平6-310701
出願日: 1993年04月23日
公開日(公表日): 1994年11月04日
要約:
【要約】【目的】 CCD固体撮像素子において、Al遮光膜-半導体領域間を通って入射する光成分によるスミアの低減を図る。【構成】 受光部10の1側に垂直転送レジスタ5が配され、垂直転送レジスタ5上を覆ってAl遮光膜18が形成されてなる固体撮像素子において、Al遮光膜の受光部10側へはり出したはり出し部18a下の絶縁膜12を着色して(着色領域23参照)構成する。
請求項(抜粋):
受光部の1側に垂直転送レジスタが配され、該垂直転送レジスタ上を覆って遮光膜が形成されてなる固体撮像素子において、前記遮光膜の前記受光部側へはり出したはり出し部下の絶縁膜が着色されて成ることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件):
H01L 27/148 ,  H01L 21/265
FI (2件):
H01L 27/14 B ,  H01L 21/265 Z

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