特許
J-GLOBAL ID:200903096703073703
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
萩野 平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-078002
公開番号(公開出願番号):特開2000-275818
出願日: 1999年03月23日
公開日(公表日): 2000年10月06日
要約:
【要約】【課題】 感度を低下させず、また硬調な画像形成性を示し、かつ焼きぼけ、白灯安全性および現像許容性を満足し、さらに塗布液の発泡性が少なく均一塗布性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感光性樹脂組成物が下記(1)で示されるユニットと下記(2)で示されるユニットとを有するフッ素系高分子を含有することを特徴とする。(1)フルオロ脂肪族基を有するユニット(2)炭素数9個以上の脂肪族基または炭素数2個以上の脂肪族基で置換された芳香族基と酸性基とを有するユニット
請求項(抜粋):
下記(1)で示されるユニットと下記(2)で示されるユニットとを有するフッ素系高分子を含有する感光性樹脂組成物。(1)フルオロ脂肪族基を有するユニット(2)炭素数9個以上の脂肪族基または炭素数2個以上の脂肪族基で置換された芳香族基と酸性基とを有するユニット
IPC (2件):
G03F 7/00 503
, G03F 7/032
FI (2件):
G03F 7/00 503
, G03F 7/032
Fターム (22件):
2H025AA00
, 2H025AA01
, 2H025AA04
, 2H025AB03
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BC13
, 2H025BC31
, 2H025BE01
, 2H025CB15
, 2H025CB41
, 2H025CB42
, 2H025CB43
, 2H025CB45
, 2H096AA06
, 2H096BA01
, 2H096BA09
, 2H096CA20
, 2H096EA02
, 2H096EA04
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