特許

J-GLOBAL ID：200903096704615097

火災センサの製造方法および火災センサ並びに火災感知器

発明者： 岡山 義昭 ,  小出 篤史
出願人/特許権者： 能美防災株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-116102
公開番号（公開出願番号）：特開平6-333180
出願日： 1993年05月18日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【構成】 基板上に、電子ビーム蒸着法によりSnO2の薄膜を形成する工程を含む火災センサの製造方法において、該電子ビーム蒸着法を、?@基板温度:400〜500°C;?A蒸着時の圧力:1×10-5Torr以下;および?B蒸着速度0.1〜5Å/秒の条件で蒸着膜厚:2000〜5000Åの薄膜を形成し;続いて得られたセンサ素子に、大気中で500〜600°C、1〜2時間の熱処理を行う火災センサの製造方法。および、該方法により得られるような酸化物半導体を用いたセンサを含む検出手段と、該検出手段の出力に基づき火災を判別する火災判別手段と、該火災判別手段の出力に従って火災信号を送出する信号送出手段とを備えた火災感知器。【効果】 初期火災、とくにくん焼火災で生じる焦げ臭を感度よく検知することのできる火災センサの製造方法および火災感知器が提供される。

請求項（抜粋）：

基板上に、電子ビーム蒸着法によりSnO2の薄膜を形成する工程を含む火災センサの製造方法において、該電子ビーム蒸着法を、?@基板温度:400〜500°C;?A蒸着時の圧力:1×10-5Torr以下;および?B蒸着速度:0.1〜5Å/秒の条件で膜厚:2000〜5000Åの薄膜を形成し、得られたセンサ素子に、大気中で500〜600°C、1〜2時間の熱処理を行うことを特徴とする、火災センサの製造方法。

IPC (2件)：

G08B 17/06 ,  H01L 49/00

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 特開平1-250748
  
• 特開平2-088957
  
• 特開平3-233350
  
• 特開平2-128149
  
• ニオイ識別装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-165989   出願人：能美防災株式会社
• 特開平1-206249