特許
J-GLOBAL ID:200903096707650551
弾性表面波装置及びその帯域周波数調整方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-366676
公開番号(公開出願番号):特開2001-185977
出願日: 1999年12月24日
公開日(公表日): 2001年07月06日
要約:
【要約】【課題】 ウエハ内またはバッチ内の周波数偏差を解消することが可能な弾性表面波装置及びその帯域周波数調整方法を提供すること。【解決手段】 圧電基板9上に、入力端子電極3、出力端子電極4、及び弾性表面波共振子8をそれぞれ形成し、入力端子電極3と弾性表面波共振子8との間、及び/又は弾性表面波素子8と出力端子電極4との間に、複数の分岐路を有し帯域周波数調整を行うためのインダクタンスを有する線状導体パターン2を形成したことを特徴とする弾性表面波装置Sとする。
請求項(抜粋):
圧電基板上に、入力端子電極、出力端子電極、及び弾性表面波共振子をそれぞれ形成した弾性表面波装置であって、前記入力端子電極と前記弾性表面波共振子との間、及び/又は前記弾性表面波素子と前記出力端子電極との間に、複数の分岐路を有し帯域周波数調整を行うためのインダクタンスを有する線状導体パターンを形成したことを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (15件):
5J097AA13
, 5J097AA28
, 5J097BB01
, 5J097BB11
, 5J097CC02
, 5J097DD21
, 5J097DD25
, 5J097FF03
, 5J097GG03
, 5J097HA02
, 5J097HA07
, 5J097HA08
, 5J097HB01
, 5J097HB07
, 5J097KK04
前のページに戻る