特許
J-GLOBAL ID：200903096711398336
ウエハキャリアケース
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-317806
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162274
出願日： 1995年12月06日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ウエハキャリアケースに収容された半導体ウエハの水分や有機ガス付着による汚染を防止する。【解決手段】 上部が開口した箱型の本体2と、本体に着脱自在に取り付けられる蓋体3とからなるウエハキャリアケース1であって、本体および蓋体の内壁6,7は、気体を透過せずかつ気体を放出しない物質(金属体)で形成されている。本体および蓋体の外壁8,9は樹脂で形成されている。金属体はアルミニウムフィルムとなっている。
請求項（抜粋）：
上部が開口した箱型の本体と、前記本体に着脱自在に取り付けられる蓋体とからなるウエハキャリアケースであって、前記本体および蓋体の内壁は、気体を透過しない物質で形成されていることを特徴とするウエハキャリアケース。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
