特許
J-GLOBAL ID：200903096714958030
造水機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本間 崇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-097903
公開番号（公開出願番号）：特開平5-293468
出願日： 1992年04月17日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：
【要約】【目的】超純水を製造するための各工程における水質の異常監視方式並びに不良水の排水方式に関し、超純水の製造にかかる設備コスト並びに運転コストを低減するための手段を提供することを目的とする。【構成】水使用工場3に超純水を供給するプラントの造水過程において、採水手段と、試料水のTOC測定を連続して行なう手段と、TOC値のレベル及び変化を検出して通知する手段と、不良水を排出する手段とを設けることにより構成する。
請求項（抜粋）：
原水から不純物を取り除く造水装置を擁し、超純水を使用する施設へ高度に精製された超純水を供給するプラントの造水過程において、採水手段と、試料水のTOC測定を連続して行なう手段と、TOC値のレベル及び変化を検出して通知する手段と、不良水を排出する手段とを設けることを特徴とする造水機構。
IPC (4件)：
C02F 1/42
, C02F 1/00
, C02F 1/32
, C02F 1/44
