特許

J-GLOBAL ID：200903096718860132

マイクロ化学システムのレンズ焦点位置測定方法及び装置、並びにマイクロ化学システムのレンズ位置決め方法及びマイクロ化学システム

発明者： 福澤 隆 ,  山口 淳
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-106632
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309428
出願日： 2003年04月10日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】プローブが有するレンズの焦点位置を正確に測定することができるマイクロ化学システムのレンズ焦点位置測定方法及び装置、並びにマイクロ化学システムのレンズ位置決め方法及びマイクロ化学システムを提供する。【解決手段】レンズ焦点位置測定装置100は、光源53からの光を照射レンズ40で集光するプローブ50と、プローブ50の出力側に配された平面ミラー55と、平面ミラー55を保持する保持機構56と、平面ミラー55で反射した光の光量を検出する検出器54とを備える。保持機構56は、平面ミラー55をプローブ50のz軸方向に距離z移動すると共に、x軸,y軸の回りに夫々微小角度θx及び微小角度θyだけ傾斜させることができる。光源53からの光をプローブ50の有する照射レンズ40を介して照射し、その反射された光の光量を検出器54で検出しつつ、平面ミラー55を微小角度θx,θyの調整及びz軸方向の移動を行う。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

試料を有する板状部材と、照射光を集光レンズを介して前記試料に照射する照射手段と、前記試料からの出力光の光量を検出する検出手段とを備えるマイクロ化学システムのレンズ焦点位置測定方法において、 前記集光レンズを介して照射された前記照射光をミラーで反射する反射ステップと、 前記反射された照射光の光量を検出する検出ステップと、 前記ミラーを前記集光レンズの光軸方向に移動する移動ステップとを有することを特徴とするマイクロ化学システムのレンズ焦点位置測定方法。

IPC (7件)：

G01B11/00 ,  G01J1/06 ,  G01M11/02 ,  G01N21/41 ,  G01N21/64 ,  G01N25/16 ,  G01N37/00

FI (7件)：

G01B11/00 A ,  G01J1/06 Z ,  G01M11/02 B ,  G01N21/41 Z ,  G01N21/64 Z ,  G01N25/16 A ,  G01N37/00 101

Fターム (43件)：

2F065AA01 ,  2F065AA19 ,  2F065GG01 ,  2F065GG21 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL19 ,  2F065MM16 ,  2G040AA02 ,  2G040AB07 ,  2G040CA17 ,  2G040ZA01 ,  2G043AA01 ,  2G043CA03 ,  2G043DA06 ,  2G043EA01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA03 ,  2G043HA05 ,  2G043HA15 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G059AA01 ,  2G059AA02 ,  2G059BB04 ,  2G059DD13 ,  2G059EE07 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK01 ,  2G065AA20 ,  2G065AB11 ,  2G065AB22 ,  2G065BA01 ,  2G065BB06 ,  2G065BB11 ,  2G065DA08 ,  2G065DA15 ,  2G086HH07