特許

J-GLOBAL ID：200903096731519377

高速連続撮影電子顕微鏡

発明者： 江藤 剛治
出願人/特許権者： 江藤 剛治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-368115
公開番号（公開出願番号）：特開2005-100911
出願日： 2003年09月22日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】 マイクロ秒以下の時間分解能で連続撮影できる電子顕微鏡を提供する。そのために短い時間間隔で高密度のパルス状の電子束を連続して発生する電子銃と、各パルスに対して、異なる位置に像を結像する手段を提供する。【解決手段】 図6は本発明の第1実施例の電子銃部の構成を示す。レーザー光を偏向手段35により高速で振ってガラスファイバー束36に入射させる。各ガラスファイバー44から短い時間間隔で光電面37上の隣接する場所に順次レーザー光が送られ、発生した電子がマイクロ・チャンネル・プレート38の隣接する場所に入射し、電子雪崩を起こし、パルス状の高密度の電子束を連続的に発生する。これがウエネルト電極39、引出電極40、加速電極41により射出される。これらのパルス電子束がそれぞれ像を形成することにより、短時間間隔の連続電子顕微鏡撮影ができる。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

電子雪崩現象を発生する手段を備える電子銃を備える電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J37/073 ,  H01J37/26

FI (2件)：

H01J37/073 ,  H01J37/26

Fターム (5件)：

5C030BB02 ,  5C030BB17 ,  5C030BC06 ,  5C033SS01 ,  5C033SS04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 高速撮像素子及び高速撮影装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-092313   出願人：武藤秀樹, 江藤剛治
• Hideki Mutoh and Takeharu Etoh, Fast imaging device and fast photographing device, WO 01/73849 A1