特許

J-GLOBAL ID：200903096743068427

電解金めっき方法および装置

発明者： 門田 裕行
出願人/特許権者： 日立協和エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-213827
公開番号（公開出願番号）：特開2002-030498
出願日： 2000年07月14日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、亜硫酸金錯体めっき液の劣化状態を連続的に検知して、常に安定して金めっきを行うことの出来る電解金めっき液の劣化監視方法およびその装置を提供することにある。【解決手段】本発明は、亜硫酸金めっき液によって基体表面に電解金めっきを施す電解金めっき方法において、該めっきの最中、常に又は時々めっき液の劣化を検出しながら前記めっきを行うこと、又 亜硫酸金めっき液によって基体表面に電解金めっきを施す電解金めっき装置において、該めっきの最中、常に又は時々めっき液の劣化を検出する検出手段、又これに劣化度を表示するモニタリング装置を備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

亜硫酸金めっき液によって基体表面に電解金めっきを施す電解金めっき方法において、該めっきの最中、常に又は時々めっき液の劣化を検出しながら前記めっきを行うことを特徴とする電解金めっき方法。

IPC (6件)：

C25D 21/12 ,  G01N 21/33 ,  G01N 27/416 ,  G01N 31/00 ,  G01N 31/22 122 ,  G01N 33/20

FI (7件)：

C25D 21/12 C ,  G01N 21/33 ,  G01N 31/00 P ,  G01N 31/22 122 ,  G01N 33/20 Q ,  G01N 27/46 341 B ,  G01N 27/46 353 Z

Fターム (23件)：

2G042AA03 ,  2G042BB13 ,  2G042CA10 ,  2G042CB03 ,  2G042DA03 ,  2G042FB03 ,  2G055AA30 ,  2G055BA11 ,  2G055CA20 ,  2G055FA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059CC03 ,  2G059DD12 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059PP01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平2-110348
  

審査官引用 (1件)

• 特開平2-110348