特許

J-GLOBAL ID：200903096744774465

感放射線性樹脂組成物

発明者： 永井 智樹 ,  松村 信司
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-107095
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292444
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】 液浸露光時に際して水に安定な被膜となり、焦点深度余裕を満足する。【解決手段】 液浸露光用感放射線性樹脂組成物を構成する樹脂成分がフッ素原子を含む繰返し単位および酸解離性基含有成分を含む繰返し単位を有する重合体であり、フッ素原子を含む繰返し単位が下記式(3)で表される。【化1】 式(3)において、R7は水素原子、フッ素原子、メチル基またはフルオロアルキル基を表し、R8は1価の有機基を表し、R9およびR10の少なくとも1つはフルオロアルキル基を表し、mは0〜3の整数であり、nは1〜3の整数であり、かつm+n=5である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

レンズとフォトレジスト膜との間に水を介して放射線照射する液浸露光用感放射線性樹脂組成物であって、該感放射線性樹脂組成物を構成する樹脂成分がフッ素原子を含む繰返し単位および酸解離性基含有成分を含む繰返し単位を有する重合体であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/039 ,  C08F12/24 ,  G03F7/033 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/039 601 ,  C08F12/24 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R

Fターム (22件)：

2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA03 ,  4J100AB03P ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AC53Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA04P ,  4J100BB07Q ,  4J100BC43Q ,  4J100CA03 ,  4J100JA00

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-341445   出願人：株式会社ニコン