特許
J-GLOBAL ID：200903096757381314
溶融蒸発用金属組成物および金属の溶融蒸発方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三宅 正夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020785
公開番号（公開出願番号）：特開平6-212408
出願日： 1993年01月14日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：
【要約】【構成】 減圧中で溶融蒸発させられる金属であって、特定の値以上の熱伝導率を有する被蒸発金属と特定の値以下の蒸気圧を有する物質とを含有させてなることを特徴とする溶融蒸発用金属組成物であり、特定の値以上の熱伝導率を有する被蒸発金属と特定の値以下の蒸気圧を有する物質とを共存させることを特徴とする金属の溶融蒸発方法。【効果】 比較的低出力の荷電粒子ビームで蒸発させることが可能となり、しかもハース内の被蒸発金属の温度を局部的に高くすることができ、さらに、被蒸発金属とハースライナーの構成材料とを反応させることなく、多量の被蒸発金属を急速に溶融蒸発させることができ、金属の蒸着およびイオンプレーティングに好適に使用される。
請求項（抜粋）：
減圧中で溶融蒸発させられる金属であって、蒸発温度における熱伝導率が80ジュール/メートル/秒/ ゚K以上の被蒸発金属と、2000 ゚Kでの蒸気圧が10-2パスカル以下の物質とを含有させてなることを特徴とする溶融蒸発用金属組成物。
IPC (2件)：
引用特許：
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