特許
J-GLOBAL ID：200903096759795493
容量放電プラズマ・イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
杉本 修司
, 野田 雅士
, 堤 健郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-519958
公開番号（公開出願番号）：特表2005-512274
出願日： 2002年08月08日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
化学分析システム(10)に関する。このシステムでは、RF駆動プラズマ・イオン化器(11)が間隔を空けたプラズマから遮断された1対の電極(14,16)を有する。これら電極(14,16)は電源(22)に接続されており、電極(14,16)は共振回路(22c)のキャパシタのプレートとして作用し、ガス(S)が電気的に放電して正イオンおよび負イオンの両方のプラズマを生成する。電圧は、連続する交番波形またはパケット波形のような一連のパルスとして印加される。
請求項（抜粋）：
間隙により間隔を空けている少なくとも2つの電極を有する容量放電器と、
RF信号を発生する手段であって、この信号を前記電極に印加して前記間隙に電界を生成する手段と、
前記電界にガスを供給する手段であって、このガスが前記電界によりイオン化され、前記間隙にイオンのプラズマを生成する手段と、
前記イオンと前記電極の少なくとも1つの少なくとも一部との接触を最少にする手段と、
前記イオンをさらに利用するために、前記間隙の外に前記イオンを移送する手段とを備えた、プラズマを生成するプラズマ・イオン化源。
IPC (5件)：
H01J49/10
, G01N27/62
, G01N27/68
, H01J49/26
, H01J49/40
H01J49/10
, G01N27/62 G
, G01N27/68
, H01J49/26
, H01J49/40
5C038GG13
, 5C038GH04
, 5C038GH15
, 5C038HH02
