特許

J-GLOBAL ID：200903096771479114

半導体装置およびその製造方法

発明者： 関根 克行 ,  小林 琢也 ,  青山 知憲
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-158908
公開番号（公開出願番号）：特開2008-060538
出願日： 2007年06月15日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：

【課題】 Hfを含むゲート絶縁膜とメタルシリサイドゲート電極とを含むMOSトランジスタのしきい値電圧を下げられる半導体装置を提供すること。【解決手段】 半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に設けられたpチャネルMOSトランジスタであって、Hfを含む第1のゲート絶縁膜106と、前記第1のゲート絶縁膜上に設けられ、アルミニウム酸化物とシリコン酸化物とを含む第2のゲート絶縁膜108と、前記第2のゲート絶縁膜上に設けられた第1の金属シリサイドゲート電極109とを含む前記pチャネルMOSトランジスタとを具備してなることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体基板と、 前記半導体基板上に設けられたpチャネルMOSトランジスタであって、Hfを含む第1のゲート絶縁膜と、前記第1のゲート絶縁膜上に設けられ、アルミニウム酸化物を含む第2のゲート絶縁膜と、前記第2のゲート絶縁膜上に設けられた第1の金属シリサイドゲート電極とを含む前記pチャネルMOSトランジスタと を具備してなることを特徴とする半導体装置。

IPC (10件)：

H01L 21/823 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/78 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/283 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 21/318 ,  H01L 21/316 ,  C23C 16/42

FI (11件)：

H01L27/08 321D ,  H01L29/78 301G ,  H01L21/28 301S ,  H01L21/283 C ,  H01L29/58 G ,  H01L21/318 C ,  H01L21/316 X ,  H01L21/316 M ,  H01L21/316 P ,  H01L21/316 S ,  C23C16/42

Fターム (123件)：

4K030AA06 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA29 ,  4K030BA42 ,  4K030BA44 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030LA15 ,  4M104AA01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB03 ,  4M104BB19 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB22 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD31 ,  4M104DD55 ,  4M104DD71 ,  4M104DD78 ,  4M104DD83 ,  4M104DD84 ,  4M104DD91 ,  4M104EE03 ,  4M104EE09 ,  4M104EE12 ,  4M104EE14 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF06 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH20 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BB10 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BB14 ,  5F048BB17 ,  5F048BC05 ,  5F048BE03 ,  5F048BG13 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F048DA30 ,  5F058BA01 ,  5F058BC02 ,  5F058BC03 ,  5F058BC11 ,  5F058BC20 ,  5F058BD02 ,  5F058BD04 ,  5F058BD15 ,  5F058BD18 ,  5F058BE03 ,  5F058BF02 ,  5F058BF06 ,  5F058BF27 ,  5F058BF37 ,  5F058BF54 ,  5F058BF55 ,  5F058BF62 ,  5F058BF64 ,  5F058BF74 ,  5F058BH04 ,  5F058BH16 ,  5F058BJ01 ,  5F140AA00 ,  5F140AB03 ,  5F140AC01 ,  5F140BD01 ,  5F140BD02 ,  5F140BD04 ,  5F140BD11 ,  5F140BD13 ,  5F140BE02 ,  5F140BE05 ,  5F140BE07 ,  5F140BE08 ,  5F140BE09 ,  5F140BE10 ,  5F140BF01 ,  5F140BF05 ,  5F140BF08 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BF40 ,  5F140BG09 ,  5F140BG10 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG28 ,  5F140BG30 ,  5F140BG32 ,  5F140BG34 ,  5F140BG37 ,  5F140BG43 ,  5F140BG45 ,  5F140BH14 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ09 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK34 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CC08 ,  5F140CC12 ,  5F140CE08 ,  5F140CF00