インクジェットヘッドの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-237624
公開番号（公開出願番号）：特開平6-064177
出願日： 1992年08月14日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】機械的な加工歪によるクラック、ワレ、変形がなく、印字品質の優れたインクジェットヘッドを提供すること。【構成】圧電体のインク室となる溝を加工する面にレジスト膜2を塗布する。この後、溝加工をし、電極膜4を付着させる。次にリフトオフ法により、レジスト膜2の上の電極膜を化学的にレジスト膜とともに除去して、インク室の溝の内面のみに電極膜を残す。【効果】化学的に余分な電極を除去するので、圧電体にたいして機械的な加工歪を残さない。また、クラック、ワレができないので、インク室に接着剤がはみ出さない。

請求項（抜粋）：

圧電体にインク室を構成する溝を形成し、該溝の内面に電極膜を形成する製造工程を有する、シェアモード方式で駆動されるインクジェットヘッドの製造方法において、前記圧電体の一面にリフトオフ材の膜を形成し、該リフトオフ材の膜のある側に前記溝を形成し、該溝が形成された側の表面の全面に電極膜を形成した後、前記リフトオフ材の上の電極膜のみリフトオフ法により剥離し、前記溝の内面に電極膜を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

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