特許

J-GLOBAL ID：200903096773898130

位置合わせ装置及びパネル検査装置

発明者： 福田 尚志 ,  安立 司
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-315103
公開番号（公開出願番号）：特開平10-153631
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】大型表示パネルの電極と検査用端子とを精度良く接続することができる位置合わせ装置を提供する。【解決手段】パネル試験装置10の各コンタクトユニット31a〜31eには、電極群25a〜25eを構成する複数の電極24に接続される検査用プローブ33a〜33eが、複数の電極群25a〜25eに対応する位置にそれぞれ設けられる。端面カム44a〜44eは、基準端子24a,24b間の距離Lと、予め設定された基準となる電極24aから各電極群25a〜25eを代表する位置までの距離との比に応じて変位量がそれぞれ設定される。制御装置12は、カメラ51,52の画像に基づいて被試験パネル23のずれ量を測定し、そのずれ量に応じた角度だけ端面カム44a〜44eを回転駆動し、各コンタクトユニット31a〜31eを移動させる。

請求項（抜粋）：

被試験パネルの周辺に沿って配列された電極に接続する検査用プローブの位置を決定する位置合わせ装置であって、被試験パネルの辺には、複数の電極よりなる電極群が互いに離間して複数形成され、前記電極群を構成する複数の電極に接続される検査用プローブをそれぞれ備え、前記複数の電極群に対応する位置にそれぞれ設けられた複数のコンタクトユニットと、被試験パネルのずれ量を測定するずれ量測定手段と、前記測定結果のずれ量に応じて、前記複数のコンタクトユニットを比例的に移動させる比例移動手段とを備えた位置合わせ装置。

IPC (6件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/28 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 341 ,  H01J 9/42 ,  H04N 17/04

FI (6件)：

G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 341 ,  H01J 9/42 A ,  H04N 17/04 Z ,  G01R 31/28 K