特許

J-GLOBAL ID：200903096778220825

容器内の環境を監視するための装置及び方法

発明者： モエンケ,ステファニー,ジェイ ,  ペダーセン,ジェイムズ,エヌ,エル ,  オルソン,ウェイン,シー ,  シェイナー,ウィリアム,ジェイ ,  バレラ,コニー,イー ,  グリン,フィリップ,エス
出願人/特許権者： エンテグリス・インコーポレーテッド
代理人 (4件)： 岡田 英彦 ,  福田 鉄男 ,  犬飼 達彦 ,  石岡 隆
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-554522
公開番号（公開出願番号）：特表2005-513459
出願日： 2002年12月20日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

輸送又は長期保管の間に容器(50)内の環境状態を記録するための装置及び方法である。容器(50)は半導体ウェーハ又は他の損傷を受けやすい構成部品を受容するためのものである。

請求項（抜粋）：

複数の構成部品を受容するための内部空洞を有する半導体ウェーハ容器とともに使用するための計装基板であって、計装基板は、 半導体ウェーハ容器の内部空洞に挿入する基板と、 基板上に配置された監視システムと、 を有し、監視システムは少なくとも一つの環境特性を検知する計装基板。

IPC (5件)：

G01N33/00 ,  G01D21/00 ,  G01N1/22 ,  G08C17/00 ,  H01L21/68

FI (7件)：

G01N33/00 C ,  G01D21/00 G ,  G01D21/00 Q ,  G01N1/22 L ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 T ,  G08C17/00 Z

Fターム (54件)：

2F073AA40 ,  2F073AB02 ,  2F073AB12 ,  2F073BB01 ,  2F073BB04 ,  2F073BC01 ,  2F073BC02 ,  2F073BC04 ,  2F073CC01 ,  2F073CC09 ,  2F073DE08 ,  2F073DE12 ,  2F073DE16 ,  2F073EF09 ,  2F073FF01 ,  2F073FF14 ,  2F073FG01 ,  2F073FG02 ,  2F073GG01 ,  2F073GG04 ,  2F076BA01 ,  2F076BA11 ,  2F076BD04 ,  2F076BD07 ,  2F076BD11 ,  2F076BD13 ,  2F076BD19 ,  2F076BE01 ,  2F076BE04 ,  2F076BE06 ,  2F076BE09 ,  2F076BE18 ,  2F076BE19 ,  2G052AA04 ,  2G052AC02 ,  2G052AD02 ,  2G052BA05 ,  2G052BA11 ,  2G052DA05 ,  2G052ED03 ,  5F031CA02 ,  5F031CA11 ,  5F031DA08 ,  5F031JA01 ,  5F031JA10 ,  5F031JA17 ,  5F031JA21 ,  5F031JA45 ,  5F031JA46 ,  5F031JA47 ,  5F031JA51 ,  5F031NA11 ,  5F031PA23 ,  5F031PA30