特許
J-GLOBAL ID：200903096779534599
外観検査装置および外観検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
木下 實三
, 中山 寛二
, 石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-353838
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155610
出願日： 2005年12月07日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】検出精度を向上できる外観検査装置および外観検査方法を提供すること。【解決手段】外観検査装置1は、撮像手段3から基準チップおよび複数の検査チップに係るRGB輝度値を画素ごとに取得する基準側輝度値取得手段41および検査側輝度値取得手段44と、各検査チップに係るRGBの輝度値から、同じ位置の画素の平均輝度値をRGBごとに算出する検査側平均値算出手段45と、基準チップに係るそれぞれの輝度値と、当該輝度値に係る画素と同じ位置の検査チップに係る画素の平均輝度値との比率を、RGBごとに算出する輝度比率算出手段46と、当該比率に基づいて、それぞれの検査チップに係る各画素の輝度値をRGBごとに補正する輝度値補正手段47と、補正した輝度値に基づいて、各検査チップに欠陥があるか否かを判定する良否判定手段49とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウェハ上に製造されたチップの外観を検査する外観検査装置であって、
検査対象である検査チップと、当該検査チップの比較対象である基準チップとを撮像して、前記検査チップおよび前記基準チップの各画素のRGBの輝度値を出力する撮像手段と、
前記撮像手段から取得した前記検査チップおよび前記基準チップのRGBの輝度値を画素ごとに記憶する記憶手段と、
前記撮像手段から、前記基準チップに係る各画素のRGBの輝度値を取得して、当該輝度値を前記記憶手段に記憶させる基準側輝度値取得手段と、
前記撮像手段から、1つのウェハ上の前記検査チップに係る各画素のRGBの輝度値を取得して、当該輝度値を前記記憶手段に記憶させる検査側輝度値取得手段と、
それぞれの前記検査チップに係るRGBの輝度値から、同じ位置の画素の平均輝度値をRGBごとに算出する検査側平均値算出手段と、
前記基準チップに係るそれぞれの輝度値と、当該輝度値に係る画素と同じ位置の前記検査チップに係る画素の平均輝度値との比率を、RGBごとに算出する輝度比率算出手段と、
前記比率に基づいて、それぞれの前記検査チップに係る各画素の輝度値をRGBごとに補正する輝度値補正手段と、
前記輝度値補正手段により補正した輝度値に基づいて、前記検査チップに欠陥があるか否かを判定する良否判定手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2G051AA51
, 2G051AB07
, 2G051AB11
, 2G051AC21
, 2G051BA08
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EB01
