特許
J-GLOBAL ID：200903096780285195
PZTゾル溶液の製造方法およびこの溶液を用いた強 誘電性薄膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-345574
公開番号（公開出願番号）：特開平5-221643
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】【目的】長期保存が可能で安定なPZTゾル溶液の製造方法およびこのPZTゾル溶液を用いた強誘電性薄膜の形成方法を提供する。【構成】 酸化鉛と無水酢酸を2メトキシエタノ-ル溶液に溶解し,前記溶解液にZr,Ti,SnおよびSbのアルコキシドと3価若しくは5価の金属の塩またはアルコキシドを添加して重合することによりゾル溶液を作製し,所定の方向に配向した酸化膜上に導電性金属を前記配向の向きに成長させ,その導電性金属薄膜上に前記PZT溶液を塗布して乾燥させ,この溶液を塗布した基板を水蒸気と酸素(または空気)との混合気体中で500〜800°Cのに加熱して前記塗布膜を熱分解するとともに結晶化させ、前記導電体金属と同一方向に配向させる。
請求項（抜粋）：
酸化鉛と無水酢酸を2メトキシエタノ-ル溶液に溶解し,前記溶解液にZr,Ti,Sn,およびSbのアルコキシドと3価若しくは5価の金属の塩またはアルコキシドを添加して重合することを特徴とするPZTゾル溶液の製造方法。
IPC (4件)：
C01G 30/00
, B01J 19/00
, C01G 33/00
, C04B 35/49
