特許

J-GLOBAL ID：200903096782814527

テーブル型ダイコータ

発明者： 横山 卓也
出願人/特許権者： 中外炉工業株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-179612
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009341
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】 基板が保持されるテーブル表面を基準として正確に零点補正できるテーブル型ダイコータを提供する。【解決手段】 基板Wを載置する所定の平面度を有するテーブル5と、テーブル5に対して相対的に水平移動可能で、かつ昇降可能なダイ本体1と、ダイ本体1に設けたテーブル5表面、あるいは基板W表面とダイ本体1のリップ先端部1aとの距離を測定する非接触式の距離測定センサS1と、距離測定センサS1での測定値に基づきダイ本体1の昇降量を制御する制御装置3とで構成したテーブル型ダイコータTにおいて、リップ先端部1aと対向するテーブル5の所定位置をリップの幅の3倍以下の幅を有する凸状に形成するとともに、この凸状部11の最上部がテーブル5表面と同一高さとなるように形成し、凸状部11の最上部とリップ先端部1aとの隙間量を測定する非接触式の隙間測定センサS2を凸状部11を挟んで対向配置した構成とした。

請求項（抜粋）：

基板を載置する所定の平面度を有するテーブルと、このテーブルに対して相対的に水平移動可能で、かつ昇降可能なダイ本体と、このダイ本体に設けた前記テーブル表面、あるいは基板表面とダイ本体のリップ先端部との距離を測定する非接触式の距離測定センサと、この距離測定センサでの測定値に基づき前記ダイ本体の昇降量を制御する制御装置とで構成したテーブル型ダイコータにおいて、前記リップ先端部と対向する前記テーブルの所定位置をリップの幅の3倍以下の幅を有する凸状に形成するとともに、この凸状部の最上部が前記テーブル表面と同一高さとなるように形成し、前記凸状部の最上部とリップ先端部との隙間量を測定する非接触式の隙間測定センサを前記凸状部を挟んで対向配置したことを特徴とするテーブル型ダイコータ。

Fターム (6件)：

4F041AA02 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA12 ,  4F041BA22 ,  4F041BA56