特許
J-GLOBAL ID：200903096782816627
アーク式蒸発源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-207277
公開番号（公開出願番号）：特開平11-036063
出願日： 1997年07月15日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：
【要約】【課題】 陰極から飛散するドロップレットを低減することができ、しかも膜厚均一性の高い成膜領域が広く、かつ陰極寿命の長いアーク式蒸発源を提供する。【解決手段】 このアーク式蒸発源2aは、陰極4の蒸発面5を含む領域に、当該蒸発面5での強さが700Oe以上の磁界を形成する磁気コイル8aを備えている。しかもこの磁気コイル8aは、蒸発面5の前方において集束せずに平行進行ないし発散する磁力線12であって、蒸発面5内の任意の点に立てた法線と当該点における磁力線12の方向との成す角度が0度以上30度以下の磁力線12を発生させる。
請求項（抜粋）：
アーク放電によって陰極を溶解させて陰極物質を蒸発させるアーク式蒸発源において、前記陰極の陰極物質を蒸発させる蒸発面を含む領域に、当該蒸発面での強さが700エルステッド以上の磁界を形成する磁界形成手段を備えており、しかもこの磁界形成手段は、前記陰極の蒸発面の前方において集束せずに平行進行ないし発散する磁力線であって、当該蒸発面内の任意の点に立てた法線と当該点における磁力線の方向との成す角度が0度以上30度以下の磁力線を発生するものであることを特徴とするアーク式蒸発源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/24 F
, C23C 14/32 A
