特許
J-GLOBAL ID：200903096783773220
塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-268644
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082435
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】カップに付着した塗布液を、少量の洗浄液で均一にかつ短時間で効率よく洗浄除去でき、しかも装置の構造を簡素化する。【構成】洗浄液供給ノズル40から導入口33を通じて洗浄治具30内に洗浄液Lを供給すると共に、スピンチャック20により洗浄治具30を回転する。この回転による遠心力により洗浄液Lは貯留部35に集まり、貯留部35に形成された吐出孔36より外カップ23及び内カップ24に向けて噴射する。
請求項（抜粋）：
被塗布体を保持して回転する回転保持手段と、この回転保持手段を取り囲むように設けられ、上記被塗布体に供給された塗布液の飛散を防止するための容器とを有する塗布装置において、上記回転保持手段に設けられ、上記容器に付着した塗布液を洗浄するための洗浄液が供給される洗浄用治具を備え、この洗浄用治具は上記洗浄液を貯留しうる貯留部を有すると共に、上記回転保持手段の回転により上記貯留部の洗浄液を上記容器に向って吐出する吐出孔を有することを特徴とする塗布装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304
