特許

J-GLOBAL ID：200903096786359832

金属または金属酸化物エッチング用感光性組成物

発明者： 宇都宮 伸 ,  山田 聖悟
出願人/特許権者： 東洋合成工業株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-399250
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202600
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 レジストの解像度、エッチング耐性に優れ、製品品質も向上した金属または金属酸化物エッチング用感光性組成物を提供する。【解決手段】 少なくとも表面が金属または金属酸化物からなるエッチング対象に塗布された後、活性エネルギー線によるパターン露光および水系現像によりエッチング用マスクとなり、前記金属または金属酸化物のエッチングを許容した後、アルカリ溶液で剥離可能なエッチング用感光性組成物であって、必須成分として、A)一般式(I)〜(III)に示される構成単位を含む水溶性光重合型ポリマーと、B)光重合開始剤および光増感剤の少なくとも一方と、C)水とを含有する。(但し、Xは、水素、アルカリ金属、及びアンモニウム類から選択される1種又は2種以上を表す。)

請求項（抜粋）：

少なくとも表面が金属または金属酸化物からなるエッチング対象に塗布された後、活性エネルギー線によるパターン露光および水系現像によりエッチング用マスクとなり、前記金属または金属酸化物のエッチングを許容した後、アルカリ溶液で剥離可能なエッチング用感光性組成物であって、必須成分として、A)一般式(I)〜(III)に示される構成単位を含み、各構成単位の比率が、2mol%≦l≦73mol%、8mol%≦m≦83mol%、及び15mol%≦n≦80mol%の範囲にある水溶性光重合型ポリマーと、B)光重合開始剤および光増感剤の少なくとも一方と、C)水とを含有することを特徴とする金属または金属酸化物エッチング用感光性組成物。【化1】(但し、R1〜R4のそれぞれは水素又はメチル基で、両者が混在してもよい。Xは、水素、アルカリ金属、及び下記一般式(1)で表されるアンモニウム類から選択される1種又は2種以上を表す。pは1〜10の整数を表す。)【化2】(但し、R5〜R8は、それぞれ独立に水素、又はC1〜C3のアルキル基もしくはアルカノール基を表す。)

IPC (5件)：

G03F 7/038 501 ,  C08F290/12 ,  C08F299/00 ,  G03F 7/40 521 ,  H05K 3/06

FI (5件)：

G03F 7/038 501 ,  C08F290/12 ,  C08F299/00 ,  G03F 7/40 521 ,  H05K 3/06 H

Fターム (50件)：

2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BC65 ,  2H025BC83 ,  2H025BC85 ,  2H025BC86 ,  2H025CA00 ,  2H025CC11 ,  2H025CC20 ,  2H025DA30 ,  2H025FA17 ,  2H025FA39 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA23 ,  2H096LA11 ,  4J027AA02 ,  4J027AC03 ,  4J027AE04 ,  4J027BA25 ,  4J027BA26 ,  4J027BA28 ,  4J027CA29 ,  4J027CA34 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10 ,  5E339AB02 ,  5E339AB05 ,  5E339BC02 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE12 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD02 ,  5E339GG01