特許
J-GLOBAL ID:200903096786893901

光電式エンコーダ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊丹 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-145051
公開番号(公開出願番号):特開2004-347465
出願日: 2003年05月22日
公開日(公表日): 2004年12月09日
要約:
【課題】拡散光を光学格子に入射させる構成を採用した光電式エンコーダにおいて、その信号検出効率を改善する。【解決手段】第1部材20に形成された透過型の第1光学格子21に、拡散光源10から拡散光としての入射光を入射させる。入射光は、第1光学格子21、及び第2部材30に形成された透過型の第2光学格子31を通過し、これにより第3部材40上に形成された透過型の第3光学格子41 ́上に干渉縞が形成される。第2部材30の移動により受光部50の受光状態が変化し、これに基づいて第2部材30の移動量が計測される。第3光学格子41 ́は、干渉縞のピッチの大きさが中央部から離れるに従って大きくなるのに合わせて、中央部から離れるに従ってその格子ピッチが大きくなるように形成されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
拡散光を出射する光源と、 この光源からの拡散光が照射される所定の格子ピッチを有する第1の光学格子と、 この光学格子に対して相対移動可能に配置され前記第1の光学格子を介した拡散光が照射されて前記第1の光学格子とともに干渉縞を生成する所定の格子ピッチからなる第2の光学格子と、 これら第1及び第2の光学格子により生成された干渉縞が投影される第3の光学格子と、 この第3の光学格子を介した前記拡散光を受光する受光素子と を備え、 前記第1及び第2の光学格子の相対移動に伴って変調される前記干渉縞を前記受光素子で検出して前記第1及び第2の光学格子の相対移動量を検出する光電式エンコーダにおいて、 前記第3の光学格子は、前記投影される干渉縞のピッチに合わせて、前記光源から近いほど小さく遠いほど大きくなるように、その格子ピッチが前記相対移動方向に順次変化している ことを特徴とする光電式エンコーダ。
IPC (1件):
G01D5/36
FI (1件):
G01D5/36 S
Fターム (6件):
2F103CA02 ,  2F103CA08 ,  2F103EA02 ,  2F103EB04 ,  2F103EB16 ,  2F103EB33

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