特許

J-GLOBAL ID：200903096786944476

多重ビーム光学系

発明者： リチャード アーサー バーガーハフ ,  レロイ デヴィッド ディクソン ,  ジョン グルート ,  メルボルン エドワード ラブドー ,  ジェームズ マシュー ザヴィスラン
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-150867
公開番号（公開出願番号）：特開平6-076349
出願日： 1993年06月22日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 重なる合うビームの個々のビーム出力を測定するための出力監視設計を提供する。【構成】 多重ビーム光学系(10)は、第1レーザ(20)及び第2レーザ(22)と、第1光検出器(40)及び第2光検出器(42)と、第1レーザ及び第2レーザ、並びに、第1光検出器及び第2光検出器を支持し、第1レーザの第1光ビーム(28)の中心部分及び第2レーザの第2光ビーム(30)の中心部分を渡すための光透過カバープレート(16)を有するハウジング(18)と、第1光ビームの周辺部分(50)を第1光検出器に方向付けて、集束すると共に、第2光ビームの周辺部分(52)を第2光検出器に方向付けて、集束するためにカバープレートに取り付けられた光方向付け及び集束手段(60,62) と、から成る。

請求項（抜粋）：

多重ビーム光学系であって、重なり合う放射ビームを生成するための複数の放射源と、複数の放射検出器と、重なり合う放射ビームの第1部分を渡すための放射透過性カバープレートを有する第1サイドを備え、放射源及び放射検出器を支持するためのハウジングと、重なり合う放射ビームの第2部分を受信し、放射検出器の内の1つにビームを分離して集束するために、ハウジングの第1サイドに近接する放射方向付け及び集束手段と、から成る多重ビーム光学系。

IPC (2件)：

G11B 7/135 ,  H01S 3/096