特許
J-GLOBAL ID：200903096787699076
インクジェットプリンタヘッドとインクジェットプリンタヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-088469
公開番号（公開出願番号）：特開平9-277520
出願日： 1996年04月10日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：
【要約】【課題】 インクジェットプリンタヘッドの形成に使用するアルカリ水溶液に対して圧電体薄膜を保護できる材料と製造工程を提供する。【解決手段】 圧電体薄膜の保護材料にフッ素樹脂を用いることにより、高い被覆性と耐薬品性を得ることができる。
請求項（抜粋）：
単結晶シリコン基板の第一の主面に形成した圧電体薄膜による圧電素子を備え、第二の主面にエッチングにより形成したインクキャビティを備えたインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記第一の主面にパターニングされた圧電体薄膜の少なくとも側面上に、フッ素樹脂保護膜が被着形成されていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
