特許
J-GLOBAL ID：200903096788871140
セラミックス焼結体の接合方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
桑井 清一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-286599
公開番号（公開出願番号）：特開平6-115009
出願日： 1992年10月01日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】 セラミックス焼結体においてその接合部分もセラミックス焼結体と同質化することにより、高温強度を上げ、耐熱性、耐食性を改良したセラミックス焼結体の接合方法を提供する。【構成】 2枚のアルミナ基板11A、11Bを準備し、アルミニウムまたはアルミニウム合金12を挟んでこれらの基板端面同士を重ね合わせ、積層体13を形成する。この積層体13を非酸化性雰囲気中でろう付けした後、例えば大気中で1000〜1500°Cまで加熱し、酸化処理を行う。この結果、アルミニウム12は、大気雰囲気中から酸素を奪い、アルミナになる。よって積層体13は全体としてアルミナ焼結体11と同質のものとなる。また、窒化アルミニウム基板の接合ではアルミニウムを窒化する。炭化ケイ素基板の場合は間のケイ素を炭化する。
請求項（抜粋）：
金属酸化物、金属炭化物、金属窒化物のいずれかを含む第1のセラミックス焼結体と、この第1のセラミックス焼結体と同一組成の第2のセラミックス焼結体との間に、これらのセラミックス構成金属を挟んで接合するセラミックス焼結体の接合方法であって、上記金属を、上記セラミックス焼結体の組成に対応して酸化、炭化、窒化することを特徴とするセラミックス焼結体の接合方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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