特許
J-GLOBAL ID：200903096802689740
位置検出方法及び装置、並びに該装置を備えた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-049099
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251218
出願日： 1998年03月02日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 ウエハマークが低段差である場合であっても、高精度にその位置を検出し、アライメントを行う。【解決手段】 ウエハ上のウエハマークMKX1,MKY1とウエハアライメントセンサ内の指標板上の指標マークIMX1,IMX2,IMY1,IMY2とを照明して撮像素子の撮像面に形成される投影像の撮像信号を生成する。撮像信号のウエハマーク部のオフセットWIと指標マーク部のオフセットKIとが等しくなるように指標マークを照明する照明光の光量を調整する。指標マークを構成する互いに線幅の異なるマーク19a〜19cの像に対応した撮像信号のピークSXa〜SXcのうち振幅が所定の範囲内にあるピークより指標マークの中心位置X2を求める。ウエハマークMKX1の中心位置X1の指標マークの中心位置X2に対する位置ずれ量を検出する。
請求項（抜粋）：
基板上の被検マークの像と所定の指標マーク、又は該指標マークの像とを比較することによって、前記被検マークの位置を検出する位置検出方法において、前記指標マークは、互いに異なる複数のマークを有し、前記被検マークの像に応じて、前記複数のマークの内から比較の基準となるマークを選択することを特徴とする位置検出方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/30 507 T
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 506 E
, H01L 21/30 522 D
