特許

J-GLOBAL ID：200903096802752930

プラズマ監視装置

発明者： 篠原 己拔 ,  梅沢 九十
出願人/特許権者： 日本高周波株式会社
代理人 (1件)： 菅 直人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-275357
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104095
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【目的】 反応性ガスプラズマのパラメータである電子密度を非接触で直接監視する場合、広い電子密度の範囲にわたって精度良く安定して測定することが可能なプラズマ監視装置を提供する。【構成】 異なる周波数の電磁波信号を交互に切り換えてプラズマに放射する手段、それらの信号がプラズマ中通過する際に生ずる位相遅れを測定する手段、その位相遅れの差からプラズマの電子密度を計算する手段を備えるプラズマ監視装置である。

請求項（抜粋）：

異なる周波数の電磁波信号を交互に切り換えてプラズマに放射する手段、それらの信号がプラズマを通過した後の位相遅れを測定する手段、位相遅れの差からプラズマの電子密度を計算する手段を有するプラズマ監視装置。